Array AOI

设备型号：A4586

外形尺寸：3000*2000*1800mm

兼容尺寸：4.5~8.6代线

平台精度：00级大理石平台 + 气浮搬运传输机构

成像配置：2D表面缺陷检测能力：1um@明场

‍‍‍‍◆ 平板显示制作过程，图形工艺缺陷检查

◆ Glass基板，表面缺陷

◆ 兼容Bright Field, Dark Field 缺陷检测模式

◆ 兼容多种算法联合检测，配备AI深度学习及ADC功能

◆ 2D图形缺陷检测

◆ 2D关键尺寸检测(CD/Overlap)

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