Overlay

设备型号：OVL200

外形尺寸：4000*2000*1800mm

检测内容：Overlay精度量测

平台精度：00级大理石平台

成像配置：

IBO模式；
BoxIn Box、Bar In Bar、AlM；
OVL Precision<2nm,OVL TSl<1nm；
CD Precision<7nm(3西格玛)；

‍‍‍‍◆ 纳米级高精密

◆ 毫秒级整定时间

◆ 主动减振

◆ 亚像素定位

◆ 自动聚焦

◆ 自适应算法

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