Wafer AOI

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Wafer AOI

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设备型号：WIN-200，WIN-300

外形尺寸：1600*2600*1800mm

检测内容：4/6/8 inch Wafer，可扩展支持8~12inch

平台精度：气浮平台，精度可达<0.05um

成像配置：缺陷检测能力:100nm@明场

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