Micro OLED AOI

设备型号：MWIN300

外形尺寸：1600*2600*1800mm

兼容尺寸：8~12inch

平台精度：气浮平台，精度可达<0.05um

成像配置：缺陷检测能力:200nm@明场

‍‍‍‍◆ Wafer有图形

◆ Bright Field

◆ 兼容多种算法联合检测，配备AI深度学习及ADC功能

◆ 兼容Open cassette/FOUP/FOSB/OC/SMIF Pod自动上下料

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